주사전자현미경에 ‘전자빔 모노크로미터’ 장착 공동연구
표준연 첨단측정장비센터 조복래 센터장(오른쪽)과 오가와 타카시 선임연구원이 ‘전자빔 모노크로미터’ 연구를 하고 있다.한국표준과학연구원 제공
HHT는 주사전자현미경 세계 매출 1위 기업으로, 1972년 ‘전계방출현미경의 실용화’가 미국전기전자학회(IEEE)에 인정되는 등 뛰어난 기술력을 보유하고 있다.
표준연 오가와 타카시 첨단측정장비센터 연구팀은 지난 2015년부터 HTT의 지원을 받아 전자현미경 장착해 사용할 수 있는 ‘전자빔 모노크로미터’의 기초연구를 추진해왔으며, 그 기술력을 인정받아 해당 장비를 HTT의 주사전자현미경에 장착하는 본격적인 공동연구를 실시하게 됐다.
주사전자현미경은 생물학이나 반도체, 재료과학 분야에서 물체의 미세구조를 관찰하거나 정밀 측정할 때 사용되는 기구다.
이번에 표준연에서 개발된 모노크로미터로 전자빔을 필터링해 단색빔을 만들면 빔 직경이 줄어서 분해능력이 높아져 반도체의 서브나노 스케일 관찰 및 선폭 측정이 가능하다.
표준연 조복래 첨단측정장비센터장은 “표준연과 HHT의 공동연구를 통해 낮은 에너지 영역에서의 주사전자현미경 공간 분해능 향상이 기대된다. 이를 통해 신재료 및 반도체 장치의 연구개발, 새로운 생명 현상의 해명 등 다양한 분야에서의 ‘정확한 눈’ 역할을 할 수 있을 것”이라고 말했다.
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