KAIST 김희탁 교수, 광유도 임프린트 리소그래피 기술 개발
광유도 임프린트 리소그라피 기술로 만든 구조체.KAIST 제공
한국과학기술원(KAIST) 생명화학공학과 김희탁 교수팀이 빛으로 정교하고 손쉽게 구조체를 만들 수 있는 임프린트 리소그래피 기술을 개발했다고 8일 밝혔다.
이 기술은 빛으로 물질을 수직으로 끌어올려 마이크로-나노 구조체를 제작하는 방식으로 복잡하고 정교한 구조를 이전보다 손쉽게 제작할 수 있을 것으로 기대도니다.
임프린트 리소그래피는 모형을 도장처럼 각인하려는 물질 위에 찍어 마이크로-나노 구조체를 제작하는 기술이다.
경제적이고 쉽게 마이크로-나노 구조를 제작할 수 있어 기존의 포토리소그래피를 대체할 기술로 각광받고 있다.
연구팀은 아조벤젠 물질이 빛의 편광 방향에 따라 액화되 흐르는 특성을 이용했다.
연구팀은 아조벤젠 고분자 물질에 가시광선 영역의 빛으로 쪼이며 편광방향을 조절해 아조벤젠의 움직임을 수직방향으로 유도했다. 이어 각인된 모형의 빈 공간을 채우며 마이크로-나노 구조체를 형성했다.
이번에 개발된 기술은 100 나노미터 이하의 나노 구조체까지 구현하는 데 성공했으며 마이크로-나노 구조체가 결합된 다중 규모의 복잡하고 정교한 구조도 제작했다.
김희탁 교수는 “아조벤젠 물질이 수평방향으로만 물질 이동을 한다는 기존 틀을 깨고 수직방향 이동을 규명했다”며 “이를 이용해 한 층 진보된 형태의 임프린트 리소그래피를 선보였다는 데 의의가 있다”고 말했다.
연구팀은 수직방향의 아조벤젠 물질의 움직임을 이용해 여러 응용분야에 쓰일 마이크로-나노 구조체를 쉽게 제작하는 데 크게 기여할 것이라고 기대하고 있다.
이번 연구결과는 국제 학술지 ‘에이씨에스 나노(ACS Nano)’ 1월 12일자 온라인 판에 게재됐다.
ynwa21@ilyodsc.com