삼성전자, 반도체 공정에 국산 불화수소 일부 투입…일본산 대체

[일요신문] 삼성전자가 반도체 공정에 일본산 불화수소 대체제로 국산품 등을 일부 투입하기 시작했다. 
 

삼성전자 반도체 공정. 사진=삼성전자

일본 정부가 지난 7월 초 반도체 핵심소재 3개 품목에 대한 한국 수출 규제에 나선 지 두 달도 안돼 대체품을 투입한 것이다.

업계에 따르면 삼성전자는 최근 일부 공정에 일본산 대신 국내 업체가 생산한 고순도 불화수소를 투입했다. 민감도가 낮은 공정부터 점진적으로 확대한다는 계획이다. 

불화수소는 반도체·디스플레이 공정에서 패널이나 회로를 식각하거나 표면 세정에 사용된다. 일본 정부가 수출 규제를 강화한 3대 품목 중 하나이다. 

LG디스플레이는 이미 국산 불화수소를 공정에 투입했으며 삼성디스플레이도 곧 테스트를 완료할 것으로 알려졌다.

장익창 기자 [e-mail]