이날 체결식에는 김관용 지사, 장욱현 영주시장, 임민규 SK머티리얼즈 대표이사 등이 함께했다.
SK머티리얼즈의 2500t 규모의 NF3(삼불화질소) 제조공장 증설과 일본의 쇼와덴코社와 210억원 규모의 합작법인 설립에 따른 식각가스 제조공장을 설립하기 위해 추진됐다.
도에 따르면 SK머티리얼즈는 2001년 특수가스 불모지인 국내에서 처음으로 NF3(삼불화질소)를 생산해 첫 국산화에 성공했으며, 현재 연간 9200MT의 세계 최고의 생산설비를 보유하고, 세계시장 점유율 40%로 세계 1위 기업이다. 국내외 반도체 및 디스플레이 제조업체가 주요 고객으로, 고객사의 반도체 미세화 및 3D NAND 확산, OLED 산업의 투자 확대 등으로 증가하는 NF3 수요에 대응하기 위해 추가 2500t 규모의 공장 증설을 추진하고 있는 것. 2007년부터 지금까지 5회에 걸쳐 6300억원의 증액투자가 이어졌다.
경북도청
이번 체결에 따라 SK머티리얼즈와 일본의 쇼와덴코사가 합작해 설립하는 SK쇼와덴코는 CH3F(플루오르메탄) 1차 생산설비 20t을 내년 하반기까지 건설 완료하고, C4F6(육불화부타디엔) 등 고부가 CF계 가스 사업도 순차적으로 추진된다.
식각가스는 실리콘 웨이퍼 필요 부분만 남겨두고 나머지 물질을 제거하는 반도체 공정인 식각 과정에 사용되는 특수 가스다. 향후 반도체 미세화 공정 및 3D낸드 확산에 따라 식각가스 수요가 급증할 전망이다. 올해만 2500억원의 시장규모를 형성할 것으로 추산되며, 특히 SK쇼와덴코가 생산할 계획인 탄소·불소(CF계) 가스는 3D 낸드플래시 적층화에 따라 사용량이 빠르게 늘어날 전망이다.
SK머티리얼즈는 이 밖에도 육불화텅스텐(WF6), 모노실란(SiH4), 다이실란(Si2H6) 등 다양한 특수가스를 제조해 전 세계로 수출하는 특수가스 분야의 글로벌 리더로 확고한 위치를 점하고 있다. 매분기 사상 최대 실적을 갱신, 지난해 4600억원 규모의 매출을 달성한데 이어 올해에도 실적 성장세를 이어갈 것으로 보인다.
한편, SK머티리얼즈는 중국·대만·일본 등지에 판매 법인과 중국 진강에 1000t 규모의 NF3 생산시설을 설립했다. 반도체용 전구체를 생산하는 SK트리켐 합작법인 설립 및 산업용 가스를 제조하는 SK에어가스 인수 등을 통해 세계적인 기업으로 성장하고 있다.
김관용 지사는 “지금 우리는 새로운 도전과 변화에 직면해 있다”며, 어려운 시기에 적극적 투자에 나선 SK머티리얼즈의 도전에 감사를 표하고 더 좋은 투자환경과 더 많은 기회로 보답하겠다“고 약속했다
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