플라즈마는 이온, 전자, 중성기체 분자들로 이루어져 이온화된 기체 상태를 말하며, 플라즈마 발생 물질이 가지는 제4의 상으로 알려진 플라즈마는 우주공간에서 가장 많은 형태로 존재하며 인위적으로 중성가스에 이온화에너지를 인가하여 플라즈마를 형성시킨다.
플라즈마 장비를 활용할 수 있는 분야로는 정밀기계산업분야(플라즈마가공), 전기·전자 산업분야(반도체공정개발, 반도체제조, 디스플레이 제조공정), 재료산업분야(도금, 광학재료제조, 유리법랑제조), 태양전지제조, 건축용외장제 제조, 해양레져용품 등 산업에서 가장 많이 활용할 수 있으며 향후에도 반도체 공정의 핵심이라 할 수 있다.
플라즈마 장치를 적용한 교육분야로는 진공기술, 전하거동, 플라즈마 식각, 반도체 코팅, 절연체코팅, 이온주입 등이 있다. 앞으로 한국폴리텍대학 남인천캠퍼스 스마트표면처리과에서도 박막코팅, 박막증착, 융합프로젝트실습 교과목을 적용할 예정이다.
특히 전 세계적인 반도체 제조 강국인 대한민국으로서 세계최강 기업인 어플라이드 머티어리얼즈(전 세계 모든 반도체 칩과 첨단 디스플레이 제품 생산), 램리서치(세계 3대 반도체 장비기업) TEL(반도체 생산설비·FPD생산설비 전문업체)등 수많은 기업이 국내에 있으며, 이들 업체에서 활용할 수 있는 핵심 반도체 공정이 플라즈마 장비이다.
한편 한국폴리텍대학 남인천캠퍼스 표면처리학과(학과장 황환일)는 9월 13일부터 2023학년도 신입생 모집(2022.09.13.~2023.01.13.)을 진행한다. 신입생 모집 관련 자세한 사항은 남인천캠퍼스 홈페이지 또는 교학처로 문의하면 된다.
박창식 경인본부 기자 ilyo11@ilyo.co.kr